Източник на изображението Techpowerup
Според последното разследване на Bloomberg, Huawei и SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corporation) са представили патенти върху техниката за ецване на шаблони със самоподравняващо се четворно моделиране (SAQP), за да позволи на SMIC да постигне 5 nm технологичен възел за производство на полупроводници. Двата китайски гиганта работят с Deep Ultra Violet (DUV) машина, за да разработят техника за ецване на шаблони, позволяваща на SMIC да произведе възел, не нарушаващ правилата за износ на САЩ, като същевременно поддържа подобрения на плътността от предварително обявения 7 nm възел. В 7 nm процеса SMIC най-вероятно използва самоподравняващо се двойно моделиране (SADP) с DUV инструменти, но за повишената плътност на 5 nm възел е необходимо удвояване на SAQP. В производството на полупроводници литографските инструменти се редуват многократно, за да гравират дизайна на силициевата пластина.
Особено при по-малките възли, които получават непрекъснато нарастващи изисквания за плътност, става доста предизвикателно да се гравират под 10 nm дизайни с помощта на DUV инструменти. Това е мястото, където инструментите Extreme Ultra Violet (EUV) от ASML влизат в играта. С EUV дължините на вълните на литографските принтери са 14 пъти по-малки от DUV – 13,5 nm, в сравнение със 193 nm на ArF потапящите DUV системи. Това означава, че без EUV, SMIC трябва да търси алтернативи като SAQP, за да увеличи плътността на своите възли и в резултат на това да включва повече усложнения и евентуално по-ниски добиви. Като пример, Intel се опита да използва SAQP в първите си 10 nm възли, за да намали зависимостта от EUV, което доведе до поредица от забавяния и усложнения, като в крайна сметка тласна Intel към EUV. Независимо, че Huawei и SMIC могат да разработят по-ефективно решение за SAQP, използването на EUV е неизбежно, тъй като обикновеният DUV не може да се справи с нарастващата плътност на полупроводниковите възли. Като се има предвид, че ASML не може да достави своите EUV машини в Китай, Huawei се предполага, че разработва свои собствени EUV машини, но вероятно ще отнеме още няколко години, за да се покаже.
Източник: Techpowerup
